近紅外光譜儀采用全新的MEMS技術(shù)，將光譜儀的光路刻在波導(dǎo)上，使產(chǎn)品在惡劣環(huán)境下也能保持良好的性能。同時(shí)，這種單芯片設(shè)計(jì)不僅可以保持平臺(tái)間差異，而且在大規(guī)模量產(chǎn)時(shí)也可以大大降低產(chǎn)品成本。采用線性CCD探測器，量子效率高；可編程增益放大和高速16位AD轉(zhuǎn)換具有很大的動(dòng)態(tài)范圍。適用于光譜測量與分析、光譜反射率檢測、光譜透射率測量、光譜熒光檢測等多種光譜測量。其波段為紫外可見（200-850nm）或可見近紅外（400-1100nm），也可根據(jù)自身需要定制。常見的光源包括鹵鎢燈、發(fā)光二極管和激光二極管。

　　

　　光譜系統(tǒng)是近紅外光譜儀的核心裝置，它的作用是將復(fù)合光轉(zhuǎn)化為單色光。主要光譜類型有濾光片、光柵、干涉儀和聲光可調(diào)濾光片，分別對(duì)應(yīng)濾光紅外光譜儀、色散紅外光譜儀、傅里葉變換紅外光譜儀和聲光濾光紅外光譜儀。

　　

　　1、濾光式紅外光譜儀

　　

　　濾光型紅外光譜儀使用干涉濾光片進(jìn)行分光。通過在轉(zhuǎn)盤上固定不同的濾光片，可以測量樣品在多個(gè)波長的紅外光譜數(shù)據(jù)。目前過濾器技術(shù)的發(fā)展受到限制，目前的技術(shù)水平只能開發(fā)過濾器。

　　

　　2、色散紅外光譜儀

　　

　　色散紅外光譜儀又稱光柵掃描紅外光譜儀。它使用棱鏡或光柵作為分光。這種儀器的特點(diǎn)是全光譜掃描和高分辨率。

　　

　　3、傅里葉變換紅外光譜儀

　　

　　近紅外光譜儀光源發(fā)出的光被準(zhǔn)直成平行光，以45°角入射到分束器上。一半的光被分束器反射并導(dǎo)向固定鏡m2，另一半光通過分束器導(dǎo)向移動(dòng)鏡M1。射向定鏡和動(dòng)鏡的光經(jīng)過反射后實(shí)際上會(huì)聚在一起。這時(shí)就變成了具有干涉光特性的相干光。當(dāng)動(dòng)鏡移動(dòng)時(shí)，可以獲得不同光程差的干涉光強(qiáng)度。對(duì)于純單色光，在動(dòng)鏡的連續(xù)運(yùn)動(dòng)中會(huì)得到強(qiáng)度不斷變化的余弦干涉波，因此探測器檢測到的是樣品的干涉圖，可以得到分析光中所有波長的信息每次。最后，將樣品經(jīng)過傅里葉變換后的干涉圖函數(shù)與空白光源強(qiáng)度頻率分布的比值即可得到樣品的紅外光譜。